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Thermo Scientific™ SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards
Vereinfachen Sie mit diesen Partikelgrößenstandards die Vorbereitung von Kalibrierungswafern.
Marke: Thermo Scientific™ PD1100
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Beschreibung
Vereinfachen Sie die Vorbereitung von Kalibrierungswafern mit Thermo Scientific™ SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards zur Kalibrierung und Wartung von Oberflächeninspektionssystemen (Scanning Surface Inspection Systems, SSIS). Erhältliche Partikelgrößen entsprechen den von den Instrumentenherstellern geforderten Kalibrierpunktgrößen.
Thermo Fisher Scientific™ hat zusammen mit der Halbleiterindustrie und SEMI bestimmte Partikelgrößen festgelegt, die bei der Kalibrierung von Oberflächeninspektionssystemen verwendet werden. Wir haben zusammen mit den Instrumentenherstellern die Produktreihe SURF-CAL™ entwickelt, welche die Richtlinien der SEMI-Norm erfüllt.- Die verfügbaren Größen werden gemäß Definition in der „International Technology Roadmap for Semiconductors“ (ITRS) als wesentliche Kalibrierungsknoten betrachtet.
- Durch das Auftragen von SURF-CAL™ NIST™-nachweisbaren Polystyrollatexsphären (PSL) auf speziell ausgewählte Wafer können regelmäßige Kalibrierungsprüfungen durchgeführt und Scanner vor Ort mit Scannern an anderen Standorten verglichen werden
- Des Weiteren kann die Leistung der SSIS in kritischen Phasen des Herstellungsverfahrens eingeschätzt werden.
- Alle Produkte sind in deionisiertem gefiltertem Wasser in 50 ml-Flaschen bei einer Konzentration von 3 × 108 Partikeln pro Milliliter suspendiert.
Hinweis:
Die Produkte PD1100 und kleiner sind auch mit 1010 Partikeln pro ml für Anwendungen erhältlich, bei denen ein Differenzial-Mobilitätsanalysator (DMA) oder weitere Größenausschlusstechnologien eingesetzt werden.
Spezifikation
| Ohne | |
| Sofern nicht anders angegeben, bei Nichtverwendung kühl lagern (bei 2 bis 8 °C), jedoch nicht einfrieren. Aufrecht lagern und Flasche dicht verschlossen halten Produkt entweder manuell durch vorsichtiges Überkopfdrehen oder mittels Vortexmixer mischen. | |
| Partikel für die Kalibrierung und Wartung von Scanoberflächen-Inspektionssystemen (SSIS) | |
| Polystyrol | |
| Zertifikat der Kalibrierung und Rückverfolgbarkeit gemäß NIST | |
| 50 mL | |
| 0.011μm | |
| 1,112 μm |
| 3 x 108 Partikel / ml | |
| Polystyrol-Mikrosphären in deionisiertem, gefiltertem Wasser | |
| SSIS-Kalibrierung und Wartung | |
| Partikel in Standardgrößen | |
| 1.05g/cm ³ | |
| 1,59 bei 589 nm (25 °C) | |
| Produkt stabil für mindestens 12 Monate |
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