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Thermo Scientific™ SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards
Vereinfachen Sie mit diesen Partikelgrößenstandards die Vorbereitung von Kalibrierungswafern.
171.00 € - 1485.00 €
Spezifikation
| Zusatzstoff | Ohne |
|---|---|
| Inhalt und Lagerung | Sofern nicht anders angegeben, bei Nichtverwendung kühl lagern (bei 2 bis 8 °C), jedoch nicht einfrieren. Aufrecht lagern und Flasche dicht verschlossen halten Produkt entweder manuell durch vorsichtiges Überkopfdrehen oder mittels Vortexmixer mischen. |
| Inhalt | Polystyrol-Mikrosphären in deionisiertem, gefiltertem Wasser |
| Zur Verwendung mit (Anwendung) | SSIS-Kalibrierung und Wartung |
| Material | Polystyrol |
| Produktcode | Marke | Durchmesser (metrisch) | Konzentration | Preis | Menge & Verfügbarkeit | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Produktcode | Marke | Durchmesser (metrisch) | Konzentration | Preis | Menge & Verfügbarkeit | ||||
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11884862
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Thermo Scientific™
PD-047 |
0,047 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
326.00 €
50 Milliliter |
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11894862
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Thermo Scientific™
PD-047B |
0,047 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1230.00 €
50 Milliliter |
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11804872
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Thermo Scientific™
PD-064 |
0,064 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
288.00 €
50 Milliliter |
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11814872
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Thermo Scientific™
PD-064B |
0,064 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1230.00 €
50 Milliliter |
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11824872
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Thermo Scientific™
PD-083 |
0,083 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
288.00 €
50 Milliliter |
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11834872
|
Thermo Scientific™
PD-083B |
0,083 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1230.00 €
50 Milliliter |
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11844872
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Thermo Scientific™
PD-092 |
0,092 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
183.00 €
50 Milliliter |
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11854872
|
Thermo Scientific™
PD-092B |
0,092 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1300.00 €
50 Milliliter |
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11864872
|
Thermo Scientific™
PD-100 |
0,100 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
194.00 €
50 Milliliter |
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11874872
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Thermo Scientific™
PD-100B |
0,100 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1300.00 €
50 Milliliter |
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11884892
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Thermo Scientific™
PD1100 |
1,112 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
183.00 €
50 Milliliter |
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11894892
|
Thermo Scientific™
PD1100B |
1,112 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1230.00 €
50 Milliliter |
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11804882
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Thermo Scientific™
PD-155 |
0,155 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
287.00 €
50 Milliliter |
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11814882
|
Thermo Scientific™
PD-155B |
0,155 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1485.00 €
50 Milliliter |
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11804902
|
Thermo Scientific™
PD1600 |
1,59 μm | 3 x 108 Partikel / ml | N/A | N/A | N/A | |||
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11824882
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Thermo Scientific™
PD-200 |
0,202 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
183.00 €
50 Milliliter |
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11814902
|
Thermo Scientific™
PD2000 |
2,01 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
183.00 €
50 Milliliter |
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11834882
|
Thermo Scientific™
PD-200B |
0,202 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1230.00 €
50 Milliliter |
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11844882
|
Thermo Scientific™
PD-204 |
0,204 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
183.00 €
50 Milliliter |
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11854882
|
Thermo Scientific™
PD-204B |
0,204 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1230.00 €
50 Milliliter |
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11864882
|
Thermo Scientific™
PD-215 |
0,220 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
183.00 €
50 Milliliter |
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11874882
|
Thermo Scientific™
PD-215B |
0,220 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1230.00 €
50 Milliliter |
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11824902
|
Thermo Scientific™
PD3000 |
3,04 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
183.00 €
50 Milliliter |
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11884882
|
Thermo Scientific™
PD-305 |
0,304 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
183.00 €
50 Milliliter |
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11894882
|
Thermo Scientific™
PD-305B |
0,304 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1230.00 €
50 Milliliter |
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11804892
|
Thermo Scientific™
PD-365 |
0,360 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
183.00 €
50 Milliliter |
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11814892
|
Thermo Scientific™
PD-365B |
0,360 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1315.00 €
50 Milliliter |
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11824892
|
Thermo Scientific™
PD-500 |
0,498 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
183.00 €
50 Milliliter |
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11834892
|
Thermo Scientific™
PD-500B |
0,498 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1230.00 €
50 Milliliter |
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11844892
|
Thermo Scientific™
PD-800 |
0,809 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
194.00 €
50 Milliliter |
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|
11854892
|
Thermo Scientific™
PD-800B |
0,809 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1230.00 €
50 Milliliter |
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|
11864892
|
Thermo Scientific™
PD-802 |
0,802 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
183.00 €
50 Milliliter |
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|
11874892
|
Thermo Scientific™
PD-802B |
0,802 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
1230.00 €
50 Milliliter |
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Beschreibung
Vereinfachen Sie die Vorbereitung von Kalibrierungswafern mit Thermo Scientific™ SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards zur Kalibrierung und Wartung von Oberflächeninspektionssystemen (Scanning Surface Inspection Systems, SSIS). Erhältliche Partikelgrößen entsprechen den von den Instrumentenherstellern geforderten Kalibrierpunktgrößen.
Thermo Fisher Scientific™ hat zusammen mit der Halbleiterindustrie und SEMI bestimmte Partikelgrößen festgelegt, die bei der Kalibrierung von Oberflächeninspektionssystemen verwendet werden. Wir haben zusammen mit diesen Instrumentenherstellern die Produktreihe SURF-CAL™ entwickelt, die die Richtlinien der SEMI-Norm erfüllt.- Die verfügbaren Größen werden gemäß Definition in der “International Technology Roadmap for Semiconductors” (ITRS) als wesentliche Kalibrierungsknoten betrachtet
- Durch das Auftragen von SURF-CAL™ NIST™ rückführbaren Polystyrollatexsphären (PSL) auf speziell ausgewählte Wafer können regelmäßige Kalibrierungsprüfungen durchgeführt und Scanner vor Ort mit Scannern an anderen Standorten verglichen werden
- Des Weiteren kann die Leistung der SSIS in kritischen Phasen des Herstellungsverfahrens eingeschätzt werden.
- Alle Produkte werden in deionisiertem, gefiltertem Wasser in 50 ml-Flaschen mit einer Konzentration von 3 x108 Partikel pro ml aufgelöst.
Hinweis:
Die Produkte PD1100 und kleiner sind auch mit 1010 Partikeln pro ml für Anwendungen erhältlich, bei denen ein Differenzial-Mobilitätsanalysator (DMA) oder weitere Größenausschlusstechnologien eingesetzt werden.
Spezifikation
| Ohne | |
| Polystyrol-Mikrosphären in deionisiertem, gefiltertem Wasser | |
| Polystyrol | |
| Zertifikat der Kalibrierung und Rückverfolgbarkeit gemäß NIST | |
| 50 mL | |
| Produkt stabil für mindestens 12 Monate |
| Sofern nicht anders angegeben, bei Nichtverwendung kühl lagern (bei 2 bis 8 °C), jedoch nicht einfrieren. Aufrecht lagern und Flasche dicht verschlossen halten Produkt entweder manuell durch vorsichtiges Überkopfdrehen oder mittels Vortexmixer mischen. | |
| SSIS-Kalibrierung und Wartung | |
| Partikel in Standardgrößen | |
| 1.05g/cm ³ | |
| 1,59 bei 589 nm (25 °C) |
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